我下面(miàn)解釋一下，我們煙車做半導體芯片設備也好(hǎo)吃可，還(hái)有其他泛半導體微觀加工設備也好(hǎo們綠)，在這(zhè)個整個産業鏈處在一個什麼(me一冷)位置，解釋一下。

我們做的是大型真空的微觀加工設備，它是做半導體芯女習片或其他微觀器件加工的。就(jiù)是現在大生山家看到的集成(chéng)電路，大面(mià城信n)積顯示屏，太陽能(néng)電池，發(fā)光二極管，各種(長錢zhǒng)傳感器啊等等。

最近大家讨論很熱的叫(jiào)VR、A動司R對(duì)吧？將(jiāng)來大家戴的那個眼鏡裡(lǐ)面(miàn)有是件一個很小的屏幕，叫(jiào)Micro ID，這(場是zhè)都(dōu)是屬于微觀器件的。

我們做的設備就(jiù)是加工不但這(zhè)些微觀器件的。

打個比方吧，做機械加工的五軸聯動的加工中心都(dōu)見過(guò)吧，醫計你要去機械加工廠一個大型的生産線上，日民可能(néng)上百台的機器，最早就(jiù)是車床、銑床、刨床、鑽床、磨床，後(hò遠請u)來呢，就(jiù)把它都(dōu)綜合到一起(q大綠ǐ)，做在一個機床上，叫(jiào)五軸聯動加工中員的心，或六軸聯動加工中心。它可以加工出各種(zhǒng低快)各樣(yàng)的機器零件，看的見，摸的著(zhe)。

和宏觀加工的這(zhè)個核心的設備一樣(yàn快相g)，我們做的是微觀加工的核心設備，用我們的設備可以做出各紙內種(zhǒng)各樣(yàng)看不草子見，摸不著(zhe)，有奇妙形狀的微小的器件。這(zhè)些東西就(jiù)構成(c市你héng)了數碼世界的最基本的朋風器件和原件。

我講宏觀加工和微觀加工的關系，一般比較喜歡從這(zhè)街從裡(lǐ)開(kāi)始講，這(zhè)個話講得長(c技國háng)了哦！

其實人類社會(huì)的發(fā)展大概有將(jiān頻影g)近300萬年的曆史，短的說懂你(shuō)也有200萬年曆史，就(ji訊市ù)是從猿人開(kāi)始的。

大概在兩(liǎng)三百萬年很長(cháng)的時(shí)間内，人的生産方舞船式是 “狩獵和采摘”，對有吃(duì)吧？就(jiù)是哪裡(lǐ)有果子，計慢就(jiù)到哪裡(lǐ)采摘，哪裡(lǐ)務影有動物，就(jiù)到哪裡(lǐ)去打獵，但是後(h民報òu)來到了2萬多年以前就(jiù)開(kā上道i)始有村落住下來了，就(jiù)變成(計玩chéng) “農耕和畜牧”了。

爲什麼(me)會(huì)産生這(zhè)個變化嗎？爲什麼(me)人類采算站摘、狩獵了200萬年，突然變成(chéng)住下來？

其實有兩(liǎng)個原因，一個原因是人這(zhè)個智能有林(néng)動物發(fā)展，把果子采得越來越少，動物都(dōu)打得越來做是越少？人卻越來越多，所以有這(z鄉弟hè)個客觀的需要。從能(néng)力上來講呢，比如人們打的動物多了，當時(shí)吃不了，就(jiù)放一些地方綠兒圈起(qǐ)來了，就(jiù)發(f票姐ā)現小東西生出來了，人們就(jiù)觀察到這(愛空zhè)種(zhǒng)現象，公麗在母的在一塊生小的，那我們就(jiù)養著(zh唱間e)吧，我們就(jiù)不要出去打，對(duì)吧？這(zhè)是人類能土山(néng)力的發(fā)展。

從需求來講，就(jiù)是外面(miàn)動物越來越少，可被(bèi)微冷采摘的果子也越來越少，原來到哪去摘果子吃了，拿來就(jiù)可以吃。但是吃得差個線不多了以後(hòu)，需要的不夠了員拍，再一個呢就(jiù)是采摘能(néng)力多了，比如一些吃不完了就去作(jiù)放著(zhe)，因爲掉地上長(cháng那一)出芽來了，發(fā)現這(zhè)可以種(zhǒn林如g)，自然而然的，這(zhè)個幾萬年的演變就(jiù)變成(機空chéng)了大家知道(dào)可以種(zhǒng)植了，也可以畜長嗎牧了！而且要蓋了房子，有了屋的話，也不用一天到晚風餐些雜露宿了。所以人類就(jiù)走到第二個階段，生那個産方式就(jiù)變成(chéng)了農業和畜牧，對(duì)不對(d文術uì)？這(zhè)個時(shí)間大概就(jiù)是兩(liǎng)萬年。也聽

那後(hòu)來到了500到600年前，由行街于人們智力的發(fā)展和分工的原因，就(jiù)慢外大慢形成(chéng)一個新的工業革命土也。這(zhè)個工業革命的本質，大拍你們想是什麼(me)？傳統工業從英國(guó)開(kāi人紅)始，采用機器。對(duì)，就(jiù)是做一個機器代替人手。原來都(dōu草事)是手工的，後(hòu)來就(jiù)發(fā)明了機器，用機器加工來代替多小人，這(zhè)個就(jiù)形木藍成(chéng)了一個宏觀加工爲核心歌來的傳統工業。

這(zhè)個工業持續了500多年，這(zhè)個革命有三個基本的組成(chéng)：宏觀材料見腦（鋼鐵，水泥，塑料，纖維等等），宏觀加工的母機懂校(車床，銑床，鑽床，磨床等等) 和驅動好下機器的能(néng)源（蒸汽機，内燃機，發(fā)電機，電動機等等）。

這(zhè)個革命徹底的改變了人類生活和生産的方式。到了1歌山940年到1950年，又開(kāi)始了第二代的工聽劇業革命。

這(zhè)個革命是從矽谷開(kā照房i)始發(fā)展起(qǐ)來的。這(zhè白長)個工業革命的本質是什麼(me)？如果說(shuō)前一個工業革命是相見做個機器代替人手，那麼(me)這他腦(zhè)個革命實際上是造個電腦代替人腦。

作爲電腦基礎的半導體的集成(chéng)電路是一種(z說白hǒng)微小的器件，它需要輸入電信号，而輸出的區有也是電信号，或者是數碼信号變成(chéng)模拟信号，模拟信号變線書數碼信号等等。但是後(hòu)來呢，遠遠不和城止這(zhè)些了。

微觀器件擴展到爲了人的各種(zhǒng)人金感官的需要而産生。

輸入電信号變成(chéng)光信号這(zhè木愛)是發(fā)光二極管，輸入光信号變成(chéng)電來一信号是太陽能(néng)電池，輸入聲信号變成(chéng)電信号是微麥克機去風，輸入電信号變成(chéng購爸)聲信号是微揚聲器，對(duì)吧？所以我們現在講的這(zhè)機答個第二代工業革命，就(jiù)做各種(zhǒng)看不見摸不著(zhe)的微森雨觀器件，它有非常奇妙的功能(néng)，它不但可以代人坐替人腦，可以代替人身上各種(zhǒng)感官，像觸覺，味覺，聽覺，對(d妹有uì)不對(duì)？

比如無人駕駛的汽車全靠這(zhè)些叫(jiào)做MEMS的微離林觀器件。這(zhè)個做集成(c的在héng)電路及微器件來代替人的大腦，或者代替人的所有感官，這輛離(zhè)就(jiù)形成(chéng)了第二代工業革命，這(zh分腦è)個工業革命的核心是什麼(me)？微觀加工。

前一代工業革命是宏觀加工，有了材料，有用化工作母機，有了動力，就(jiù站答)可以做出輪船，飛機，大炮，世界最長(c劇輛háng)的橋，最高的樓，最快的高鐵等等，這(zhè)都(dōu)屬于做哥第一代工業革命的範疇。第二代工業革命車務也需要微觀材料，微觀加工母機和新能女報(néng)源包括節能(néng)減排。這(zhè)三個方面(miàn)都近地(dōu)需要設備支撐。

這(zhè)個工業的革命催生了一個全新的數碼靜嗎産業，這(zhè)個數碼産業，最上層是網絡，電商，傳媒，大數據和雲計算等等，又器這(zhè)個産業有十幾萬億美元的年車又産值；支撐這(zhè)個産業的下一層是數碼電子系統，快相小到電子玩具，手機，電腦，大到超高速計算機，體體全球互聯的網絡系統。

這(zhè)個層次的年産值至少有幾萬億美元。而支撐這校金(zhè)個電子系統産業的下一層是子紅半導體芯片設計和制造産業。

這(zhè)個芯片的最近幾年的年産船很值達到4000億美元。而再往下看，芯片産業又是建築在半導體設備的基礎上。我國(guó)有一句俗話叫(jiào)：“工兒樂欲善其事(shì)，必先利其器”。沒作開(méi)有能(néng)加工出人頭發(fā)絲幾千分之一到上萬分之一章你尺度的微觀加工設備，就(jiù)造分個不出芯片。

這(zhè)個數碼産業的四個層次，可以用一個倒置的三角圖像來很路表示。

從尺度上講，目前全世界一年做出的微觀加工的新建設備，就(jiù)講納米加工相街城關的設備，設備還(hái)有後(hòu)端封裝的和其他做太陽能(né藍妹ng)設備啊等，那個市場也很大。

但是我現在講的隻是前段設備，就(jiù)是做納米加工，做芯片和傳感器的，大概全哥慢世界每年采購的設備是400億美金，它支撐了芯片制造産業，芯來拍片制造全年的産值大概4000億什影，有十倍的放大作用，然後(hòu)有了4000億的芯片，可以構金土成(chéng)各種(zhǒng)各樣(yàng)的電子系統，是幾萬億的年笑這(zhè)樣(yàng)一個産值。

有了這(zhè)個電子系統，又支撐了幾十萬億的軟件電商習商傳媒大數據。馬雲谷歌，Google和Faceb上店ook就(jiù)是這(zhè)一層，而且都(dōu)是上人愛千億的大公司。

但是不要忘記它的基礎，最核心的是能(néng)夠做出微觀器件的微觀加工設備。中國(guó)有句老話,&nbs身會p;說(shuō) “工欲善其事(shì)必先利其器”她道。如果你沒(méi)那個微觀加工的機下員器那什麼(me)東西都(dōu)沒(mé能自i)有，從這(zhè)一點上，确實錢件是重要的。

那我再講下面(miàn)這(zhè)個故事(shì)幫助理解它的重要性。我在7女計0年代後(hòu)期在北大讀研究生，北大有一個全國(guó)最先進好暗(jìn)的計算機，是2棟5層的大樓，裡(lǐ)面(理鄉miàn)全部是電子管，大概是128K算議容量的計算機，估計有12萬多個電子管。音樂

一個電子管幾個厘米這(zhè)麼(綠制me)大，我把他叫(jiào)厘米級的計算機和場，在美國(guó)這(zhè)樣(yàng)的計算機在60年代就(jiù)有筆北了。

十年以後(hòu)呢，到1985年，我已經(jīng)在矽谷英特爾中心研究開(理聽kāi)發(fā)部做芯片了。當時(shí)我們把128K的這(z什我hè)個容量已經(jīng)做到一個指甲蓋大小的芯片上。所以從一個2棟的五層校好大樓做到一個指甲蓋，我粗算了一下，就(jiù)是人類綠分加工一個微器件的面(miàn)積縮小1舞在00萬倍。

後(hòu)來，再經(jīng)過(南影guò)30年到2015年，東芝首先宣布做出128G的fl子子ash memory就(jiù)是閃存器U盤。那已經(jīng)到納米數量級了看時，這(zhè)30年又把人類微觀加工面(miàn)積著議縮小了100萬倍。所以這(zhè)50年來我們所做的努力，人類微觀器件加工的到坐面(miàn)積縮小了一萬億倍！

我們來看每人的手機，這(zhè)個手機要回到四五十年前，如果變成熱公(chéng)電子管計算機，你知道(dào)會(h訊飛uì)有多少棟樓那麼(me)大嗎？相當于 200萬棟樓! 2吃事00萬棟五層大樓裡(lǐ)面(miàn)全部充滿了電子管，奇妙吧！

那手機怎麼(me)能(néng)做成(chéng)那家紙麼(me)小呢？手機裡(lǐ)的十幾個芯片，時高是用十大類設備聯合作戰把它做出來，這(z分房hè)其中最重要的三大類：第一是光刻機，第二是等離子刻蝕機，第三是鋪上材料薄膜設備，三種(zhǒng)設備就(jiù)構成(ch場來éng)了這(zhè)個微觀加工的最核心的東西。

簡單來講，這(zhè)個加工過(guò)程就(j但校iù)像蓋房子，一層一層的蓋。現在蓋多少層？差不多60層，要加工100外動0個步驟！這(zhè)高樓的深孔或柱子的尺度，就(照雨jiù)我們現在說(shuō)的14納米啊、70納米啊、7納米等等。你金

大家知道(dào)人的頭發(fā)絲平均直徑是0.07毫米，7納米是算姐人頭發(fā)絲的一萬分之一。在這(z習遠hè)樣(yàng)的尺度上加工是非常困難的。其中關鍵就(跳離jiù)是靠光刻機和等離子體刻蝕友文機，兩(liǎng)台機器精雕細刻。

我本人就(jiù)是做了34年的等離站嗎子刻蝕機的開(kāi)發(fā)和産業化的工作，在美國(gu算音ó)的矽谷做了20年，回國(guó)也做了14年了，就(jiù)一直做房拿等離子刻蝕機。我們還(hái)做化學(xué)薄膜船和設備。我們不會(huì)做光刻機，光刻機是完全不同的領域。

現在要做光刻機，必須用德國(guó)蔡司做的鏡頭或反光碗。舞白蔡司是個百年老店，而且德國(guó)的精老數密加工是世界第一的。

但實際上這(zhè)個光刻機不民飛是德國(guó)人做的，它的鏡頭和反光碗是德國(guó)人提供學校的。然後(hòu)荷蘭的ASML做出整個的光刻機算月。

目前在大生産上的浸沒(méi)式光刻機是用鏡頭來做光刻的，一個30多城船片鏡頭的鏡頭組價值5000萬美金以上公刀。最新的深紫外光刻機已經(jīng)不用鏡頭了，用個近的是反光碗，有十幾個反光碗，把一個激光打出來打在金屬液滴上，通兒通過(guò)多次聚焦變成(chéng)一個平行光，來做曝光的。

這(zhè)個反光碗的加工精度，有人跟我講，是相當于德國(guó)票黃國(guó)土的面(miàn)積，這(zhè)麼(報知me)大面(miàn)積要平整到正負一毫米，在這(zhè)東們樣(yàng)的精度下才能(néng)做出那樣(yàng)準确的反光碗。

所以這(zhè)是一個非常難的技術，我們做的呢，就(jiù)是次于光刻麗湖機最難做的等離子刻蝕機，就(jiù)是要精雕細刻，等離子刻蝕機的複雜度是這(業船zhè)樣(yàng)，恐怕有上千個刻蝕的工藝過(g秒人uò)程要開(kāi)發(fā)出醫服來，刻不同的材料，不同的形狀。有的是刻存儲器件，有的刻邏輯器件的，有的是刻傳感器的，飛術所有的設計都(dōu)不一樣(yàng)，每一個設計每一去場種(zhǒng)具體刻蝕應用都(dōu)有它的挑戰性。刻蝕機要刻海海出三維四維，很複雜的形狀，在工藝開(kāi)發(fā)上是最員物複雜的。

一個目前世界最先進(jìn)的生産線，一個月可以生産5萬片到6萬片1森為2英寸的晶圓片，然後(hòu)用金剛石鋸切割成(ché能土ng)幾百個小片，經(jīng空照)過(guò)封裝就(jiù)造出芯片了新呢。

現代的芯片生産線全部是自動化的，而且智能(néng)化的，在同一校算條生産線上可以跑上百種(zhǒng)不同的産品，不同的設計，它都(dōu哥樂)是完全可以智能(néng)識别的。

這(zhè)裡(lǐ)我順便說(s窗訊huō)一下，所謂德國(guó)工業4.0提出了量體裁衣的智能(紙頻néng)化生産，其實在集成(chéng)電路産業，十幾年務理前就(jiù)已經(jīng)實現了。最先進(車劇jìn)的芯片生産就(jiù)是量體裁衣的，全部是智能(néng)間雪控制的。

做半導體設備需要的這(zhè)個學(xué從開)科兵種(zhǒng)我列了一下，有50多個學(xué)科，都(dōu)歌吧牽扯到才能(néng)把這(zhè)樣(yàng)的快訊一個精确的微觀加工的設備做起(q公務ǐ)來。

它的加工精度是這(zhè)樣(yàng)。右邊那個得多SEM呢就(jiù)是我們用我們開(kāi)發(fā)樂市的刻蝕機鑽的深孔，就(jiù)像個鑽床鑽的孔一樣(yàng)。這(zh務路è)個孔并不小就(jiù)是50納米，但是他的深寬比中畫差不多40:1，下一代要做到60:1的時(shí)候，可以想象就(j制紅iù)像頭發(fā)絲一樣(yàng)。如路還果你要是機械鑽床，精鑽宏觀加工的孔，你鑽過(guò)了20:1，鑽頭很容易做斷綠也，鑽下去，卡出來斷掉。我們現在刻車學蝕機可以鑽這(zhè)麼(me)深的孔，而且比它還(hái)要深。懂銀而且要求上面(miàn)的直徑，如果是50納米的話，下輛林面(miàn)直徑不能(néng)小于45納米，不能(néng)小于它的1/1匠數0，如果小于就(jiù)不合格。因爲這(zhè)個孔幹什麼(me)議拍用的呢，一個孔，就(jiù)是計算議醫機的一個記憶單元叫(jiào)bit。

這(zhè)裡(lǐ)面(miàn)做一個金屬費話導管一樣(yàng)的，充了電就(jiù)是一，放了老要電就(jiù)是零，就(jiù唱湖)是計算機的1010，它有一個讀數器，去讀哪個空司孔是一哪個孔是零，這(zhè)樣(yàng)就(jiù)編碼了。

那我這(zhè)個機器一年要鑽多少孔？10的18次方。100萬萬視身億個孔，每個孔都(dōu)要鑽到準确度是人頭發(fā)絲大概1/5000到1件關萬分之一。現在我們前沿做到7納米什麼(me)概念？人的頭發(fā)務市是平均是0.07毫米，你可以在網上查是0.06到0.09毫米，愛內之間有的粗有的細，平均0.07毫米。所以7納米的身中概念是人頭發(fā)絲1萬分之一，我們就(jiù)等于在人頭發(fā)絲1外煙萬分之一這(zhè)樣(yàng)的基礎上加工，它看姐的加工精度和重複要做到10萬分之一。

而且你要雕刻出100萬萬億個孔，每個孔都(dō市能u)要精确到頭發(fā)絲的10萬分之一。可以想象米粒刻字，你知道(dào)水平最高的工匠在一個米粒讀信上面(miàn)能(néng)刻多少字，我看過(guò)，最多是25習車0多個，現在我可以在米粒那麼(me)大的面(miàn)積，可以懂靜刻1億個中文字，甚至可能(néng)會(huì)海民刻到10億個中文字。如果你用超高的電子顯微鏡看，真的市山看到就(jiù)是中文字，很漂亮筆一的。

這(zhè)是20年前芯片一種(zhǒng)比較簡單的結構，現在比較複雜了，但下購是就(jiù)拿這(zhè)個例子，你可以看到黃的那個都(dōu)是銅，下面(制朋miàn)很多柱子，灰色是鎢，下面(m些會iàn)有粉色的，下面(miàn)還能子(hái)有灰色的，都(dōu能遠)是下面(miàn)的結構。

我們先講一下這(zhè)個東西怎麼(me)做出來。這(zhè)裡(lǐ)一照藍個橋，那裡(lǐ)像城市街道(dào)，還(hái)著放有像高速公路，這(zhè)些怎麼(me)做的？剛才我們河近說(shuō)了，在矽底物上先鋪一層光畫薄膜，然後(hòu)上面(mià習離n)甩一層光組，光組是什麼(me)東西？是校姐一種(zhǒng)聚合物，見了光它就(jiù)分解，視飛然後(hòu)光刻機就(jiù)是曝光，上面(miàn)就(jiù)做一一算個圓孔的模闆，然後(hòu)用光還不刻機這(zhè)個光線照過(guò)去，把它縮小到4:1到5:1行什，就(jiù)這(zhè)個孔可以縮小，然後(hòu)在底物上曝光制市後(hòu)那部分光敏的光刻膠就(ji木自ù)分解了。你洗掉了就(jiù)出來一個圓洞。然技姐後(hòu)呢用我們的等離子刻蝕，是一畫中種(zhǒng)等離子體，它有化學(xué)活地計性，可以加不同的氣體，不同的活性，不同的材料有選擇性銀能，這(zhè)樣(yàng)刻下去以後(hòu)，薄膜就(習放jiù)出來一個圓洞，然後(hòu)下一步用強力愛河的除膠機把沒(méi)有曝光的光刻膠也除掉，這(資從zhè)樣(yàng)就(jiù)等于在我鋪日體的薄膜上出了一個洞，然後(hòu)我上面(miàn)放一個銅闆，一次攻擊飛麗一個銅闆，把銅的原子轟擊到表面(miàn)請很層，很薄的一層，就(jiù)幾層原子。把這(z道紅hè)個矽片上都(dōu)是銅膜的，放在電解槽裡(lǐ)面低們(miàn)，通上負電去鍍銅，銅就(jiù)堆積起(qǐ)來，多鍍一點就(ji跳近ù)滿出來了，從那孔出來，就(jiù)平了這(zhè)一層。然後(h嗎文òu)化學(xué)機械抛光，磨床一樣(yàng)磨掉，這(冷就zhè)裡(lǐ)就(jiù)出了一個銅柱。

如果你相鄰的兩(liǎng)個銅柱做唱林好(hǎo)了，下一層怎麼(me)做呢？我再鋪志看一層薄膜，上面(miàn)我再重複這(zhè)個過(guò)程，重複過內遠(guò)程的時(shí)候呢，這外事(zhè)就(jiù)不是一個圓孔，是架在圓孔道能上的一個溝，下一層的光膠去掉就(女廠jiù)是一個溝槽，然後(hòu)物喝把這(zhè)個溝槽再刻下去，視她刻到第二次鋪上的材料裡(lǐ)，然後(hòu)再話遠經(jīng)過(guò)鍍銅和磨光，上面(miàn)出了男見一個銅的棒，就(jiù)是一條線一樣(yàng)。它正好(hǎ兒件o)架在剛才你做的兩(liǎng)個柱，這(zh火科è)就(jiù)是第二層做好(hǎo)了。你可以知道(dào)平均每一層大機很概15個步驟。那你要做60層，60問內×15，接近一千次。就(jiù)是這(zhè)個芯片，像手機裡靜筆(lǐ)的芯片，都(dōu)要經(jīng)過(guò)一千次的加算內工。

所以基層線路要把很多很多步驟給它集成(chéng)起(qǐ)來你如，是大家集合的努力。

今天要特别總結到一個問題上，不要強藍問調個人的作用，現在我們的宣傳老是突出個人的作用，是很不好(hǎo)的做法。其實樹慢這(zhè)個事(shì)不是一個人能(白區néng)做出來的，是整個集體，而且是全世界所有的朋火精英一起(qǐ)來努力，經(jīng)過(guò)50年才把它做出來。

如果哪個國(guó)家想把它據爲己有是不懂是切實際的，也是做不到的。美國(guó)在這(zhè)個芯片技術的開上要(kāi)發(fā)上，确實起(qǐ)了領先的作用，但媽麗是後(hòu)來30年來，這(z很河hè)個技術和産業一直向(xiàng)亞洲移動土自，現在75%以上的芯片生産線都(dōu)在亞洲，發(fā)明創造也好(h報時ǎo)，生産規模也好(hǎo)，多數都(d科冷ōu)在亞洲。

就(jiù)是在美國(guó)建一條芯片生産線，也要在視大量購買其他國(guó)家的設備和材料店玩，也不是一個國(guó)家可以獨是服立搞起(qǐ)來的。

我們中國(guó)也不要關起(林女qǐ)門自己幹，隻靠獨立自主，自力更熱日生是不可能(néng)發(fā)文文展集成(chéng)電路産業的。集成(chéng)線路是一中笑個全世界的集合的努力，是大家的财富。

我在應用材料公司做了14年，這(zhè)個公司在美國(guó校車)矽谷有66個國(guó)家的精英通力合作，開(kāi)發(fā)了一個又一個輛女複雜的設備。

剛才說(shuō)沒(méi)有光刻機就(jiù)書看沒(méi)有等離子體刻蝕機的微觀加工，那麼(me)肯定光刻是最重要的地他。

但是最近從14納米以下的情況有新的變化聽習。就(jiù)是光刻機曝光的時(shí)候，出來的不是現為一個很直的深孔或深溝，而是變成(chéng)彎彎曲曲的形狀，是和光的紅個波長(cháng)有關系。

現在我們做的尺度和波長(cháng)幾乎是同樣(yàng)數量級的，光刻出拍裡來會(huì)是彎彎曲曲的，因爲有個駐波效應坐市，一個光波打到表面(miàn)吧玩反射，如果在某種(zhǒng)特定情況下，他互相衍射形成(chéng)海愛波紋，然後(hòu)你刻出來的就(jiù)不對(duì)，就(jiù)不是這體男(zhè)個直筒了，就(jiù)沒(méi)法用。

實際上，大量生産的光刻機，隻能(néng)刻出40納米的線條。最門件新的光刻機叫(jiào)深紫外的光刻機，EUV，就(jiù)是ASML開(k科我āi)發(fā)了新的，現在沒(m男得éi)有完全大量生産，正在進(jìn)入生産。

目前最好(hǎo)也做到20納在飛米。那我爲什麼(me)說(shuō)14納米是怎麼(me)回事(shì)呢？呢低其實靠等離子刻蝕機和薄膜的組合拳把它做出來，不是靠銀月光刻做的。如果通過(guò)光刻機地服刻出一個40納米的模闆，然後(hòu)按這(zhè吧可)個模闆刻下去，刻出一個牆，你理解它是一個重剖面(miàn)。

這(zhè)個牆是氧化矽的材料，是40納米，這(zhè)是通南雪過(guò)光刻翻版出來，然後(hòu時窗)呢我在上面(miàn)鋪一層水媽氮化矽薄膜，鋪的時(shí)間控制好(hǎ這動o)，這(zhè)個側面(miàn)的牆靜書是20納米，這(zhè)樣(yàn山制g)的話呢，第二次用等離子刻蝕機刻，有方向(x船行iàng)性地把上面(miàn)的蓋去掉，把底術低部去掉，就(jiù)出來兩(liǎng)個叫(jiào)邊服線牆。這(zhè)邊牆的厚度就(jiù)是20納米作村，這(zhè)是刻的氮化物。刻氮化技說物需要用選擇性的氣體刻。

然後(hòu)刻完以後(hòu)第三次刻呢，我們換一些氣體專科睡門刻氧化物，把氧化物刻掉，這(zhè)個牆就(jiù)留下來了。快又所以一個40納米的微觀結構就(j男山iù)翻成(chéng)兩(liǎng)放麗個20納米的結構了，這(zhè)個叫(jiào)二重模版。

還(hái)有進(jìn)一步的四層模闆技術，在20光高納米的氮化物牆上，再鋪一個10納米的氧化物的膜，我少街第四次刻的時(shí)候把上頭蓋去掉，底去掉以後(hòu)，就(技聽jiù)出了四個邊牆。 然跳空後(hòu)再用不同的化學(xué)氣體，把中間的核刻掉，花科就(jiù)變成(chéng)了四個10納米開訊的邊牆。20納米以下是這(zhè)樣(yàng)美票做出來。這(zhè)裡(lǐ)紅國就(jiù)沒(méi)有光刻的事(shì)，就(jiù)是等離器西子與薄膜組合拳，把它翻版就(jiù)越翻越小。

所以目前來講呢，這(zhè)個14納米以後(hòu)，你可以看到城影刻蝕機和薄膜的市場漲得非常快，因子得爲本來是1:1:1的步驟，現在變成(chéng)1:3:5了。一次光看線靠大概三次薄膜，要五次等離子刻蝕。所以等離子體刻蝕機的化資市場增長(cháng)最快，接下來薄膜設備增長(cháng)的月是也很快。

現在因爲光阻越做越薄越小，它的遠制準确度差了。所以在光刻膠的基礎上，底下做成(ch年行éng)雙層模闆或者三層模闆，那種(zhǒng)比較複雜的叫(jià照頻o)模闆的技術。這(zhè)樣內器(yàng)的話呢，又增加了好制話(hǎo)多次的刻蝕，先要把模闆刻好(hǎo)，才能(néng)刻下面(mi錢兒àn)的東西，所以等離子刻蝕機越來越多，等離子刻蝕機的步驟從14納米到5納米增是資加了三倍。

但是光刻雖然步驟有限，但每台機器越來越貴。現在一台光刻機，賣到兩(liǎng)億美元了，就(jiù)是那場暗EUV最貴的，我們的機器大概賣到4用朋00萬美金一台。

當然實際的這(zhè)個過(guò)程不像我說(shuō)的那麼(me)簡市件單，我剛才隻是示意，二重模闆，是將(jiā黑可ng)一個40納米的結構，通過(guò)刻蝕和薄讀商膜的組合拳，翻版成(chéng)兩(liǎng)個20學這納米的結構。四重模闆，將(jiāng)進(jìn)一步加工出吧人四個10納米的結構。

總的步驟，到了5納米的時(shí)候，最新的數據是2000信分個步驟，才能(néng)做出來，原來是1000多個步驟。

但是這(zhè)樣(yàng)2000步的步驟中，加工的步飛月驟，大概1000多步。另外八九朋高百步呢就(jiù)是測試，你每次做完都(dōu)要測，市器每次測試也需要設備，雖然測試不影響你加工的結果。加在章街一塊呢，2000次，夠複雜的。

這(zhè)裡(lǐ)有個問題呢就也影(jiù)是關于合格率的問題，這(zhè)是我們最大的困擾。什麼(m個他e)叫(jiào)合格率，簡單的數輛了學(xué)。

如果某一個步驟是99%合格率，剛才說(shuō)刻一個信筆孔，下面(miàn)底部的直徑不能(néng)小于頂端直徑的快玩十分之一，如果小了就(jiù)不合格。如果每個步驟合格率達到人窗99%的話，加工一千次下來合格率就(jiù)計國是零了。

如果每次合格率99.9%，那0.999的一件分千次方變成(chéng)52%，這(zhè)也不行，一個芯片生産公司要做到合用中格率80%到85%以上才賺錢，合格率80%以下就(窗票jiù)賠錢了。

每一步的合格率一定要做到99.99%，一千次後(h慢短òu)才能(néng)達到90%。現在最先進(jìn)的芯片生産線可以做到92% 風弟的合格率，也就(jiù)是反過(guò)來講，一千多步，每一步都相作(dōu)要99.99%，也就(jiù)是一台刻老房蝕機每年要刻100萬萬億個孔，每個孔都(dōu)要刻信到準到頭發(fā)絲的1萬分之一到1費這0萬分之一這(zhè)麼(me)準，視船有點不可想象。

剛才講那個倒三角形是整個數碼世界讀有的圖像，我把它翻過(guò)來去做分析。就(jiù)是在國(guó)際上有多少生白公司能(néng)夠做這(zhè)樣(yàng)的東西。信民

軟件和電商這(zhè)種(zhǒ見美ng)産業，大到阿裡(lǐ)巴巴，關北小到一個人在家裡(lǐ)就(ji快這ù)可以開(kāi)公司，就(jiù)可以做軟件賣，對(d呢海uì)吧？美國(guó)中國(guó)很多人都(dōu)在家賣的家讀。所以全球有多少公司沒(méi)人數過(guò國下)，大概幾百萬個公司都(dōu)可以做軟件。

但是全世界做電子系統，我估計有十幾萬到幾十萬公司，包括做電電討子玩具的，大的像華爲之類。那全世界會明鄉(huì)芯片制造的公司有多少個？能(néng)夠數得上的就(jiù女女)一百多公司，其中真正好(hǎo)的就(jiù)25個公司。華力和中芯木黑國(guó)際屬于全世界前25家。

芯片制造前三家，英特爾台積電三星，三星今年的設備投資建廠投資就(jiù弟綠)是240億美元。一個公司比中國(g車遠uó)全國(guó)的投資還(hái影海)多，就(jiù)非常壟斷了。

再往下數，台灣有一家聯電，韓國(g國女uó)有海力士，日本原來是有十幾個公司，現在數得上前8家隻什雪有東芝了。美國(guó)還(hái)有兩(舊可liǎng)家，一家叫(jiào)Micron美光，原來專門做mem離冷ory的，現在英特爾決定把memory全在中國(guó)做，海秒在大連非常大的投資。

英特爾早期就(jiù)是做memory的，我84年去英特爾中心研發(fā愛門)部就(jiù)做存儲器EPROM的。後(hòu)來英特爾集工輛中力量做邏輯器件的CPU了。然後(hòu)還(hái)有一個格羅方德，是高村中東的阿布達比的投資商，在美國(guó)建立一個叫(jiào)全球晶圓醫機，國(guó)際上就(jiù)這(zhè)八家。見遠

現在越來越壟斷，這(zhè)個八家就(jiù)生産，全世界大概80%以讀去上的晶圓。那看設備公司，就(jiù)更集山著中了。設備公司可以數得上大概就(jiù)30個，能(néng商鐵)做納米技術。

這(zhè)裡(lǐ)邊十個主要公司分道筆成(chéng)三類，一類呢就(jiù)是光刻機，就(jiù)ASML一家。然後(hòu高靜)一類呢就(jiù)是工藝設備，就(jiù)是我們這(zhè)類設備，就(jiù)是應用材要間料公司，Lam Research，美國(guó)兩(li刀街ǎng)家，日本東京電子，三家。還(hái)一類就(jiù)是做測試設備的公司，叫(jiào)KLA-Ten離我cor，占全世界50%以上的測試設備。

應用材料公司是占全世界50%以上工藝設備，這(zhè)樣(yà還和ng)一個局面(miàn)。應用材料公司嗎影和Lam Research、東京電子這(zhè)三家做工藝設備的公司都(dōu舞快)是做刻蝕機起(qǐ)家。

爲什麼(me)？因爲刻蝕機是工藝設備最難做的一個，了見如果你這(zhè)公司隻能(néng)做薄膜，長(cháng)不大，你公司火見必須首先刻蝕機站住腳，再去做薄膜，或者再去收購一些國(gu樹紙ó)外的公司，就(jiù)全了，然後(hòu)再去做農草其他設備，一共有十類設備，除了光刻除了測火喝試設備，還(hái)有七八類可以做。像剛才抛光機也是一種(zhǒ拿山ng)，還(hái)有鍍銅、離子濺射、物理薄膜。

我在84年進(jìn)入英特爾中心研究開(kāi)發(fā)部時(shí文可)，這(zhè)些設備公司很小，小到十幾個人，大到一兩(liǎng)百，兩(唱體liǎng)三百人。

剛剛開(kāi)始從濕法刻蝕，發(fā)展到真空的幹法作為刻蝕，正好(hǎo)在轉換的時(shí)候，我在那做了兩唱北(liǎng)年以後(hòu)，因爲我的興趣在做設備，我師黑的專長(cháng)是做化學(xu店坐é)物理反應器的，在國(guó)内已經(jīng)做了十年了。

在英特爾我負責測試LamResearch做的介質刻蝕機，因爲早期的單片刻蝕機很草會不成(chéng)熟，我給Lam的設備提了很多意見，後(關南hòu)來他們就(jiù)把我拉去做刻蝕機，從86年加盟後(hò妹紙u)，開(kāi)發(fā)了彩虹号電容性介質等離子懂科體刻蝕機，也開(kāi)始了電感性等離子體源ICP技術的開文光(kāi)發(fā)，五年後(hòu)Lam成(chéng)爲國(guó)際最風舊大的刻蝕機公司，占了國(guó)際市場40%以上。

當時(shí)有30多個公司競争，結果Lam就(jiù)脫書煙穎而出了。後(hòu)來Lam去收購做薄膜的公司，但當時(在門shí)公司在管理上出了很多問題。本來應用材料公司做老一腦器代刻蝕機，後(hòu)來又做不過(guò)Lam。我又被(bèi)應用材不匠料公司拉去，在應材工作了13年多，幫助應用材料做出了幾種(zhǒng)那錢成(chéng)功的刻蝕機，使應材的刻蝕機業務做到世界最大，占了國(guó)際的輛市場40%多。

我在Lam的時(shí)候呢，和東京電年了子合作，當時(shí)他們是一個銷售公司，不會(huì)做設備，隻會(你慢huì)做銷售服務的。後(hòu)來Lam把他們教大什會(huì)了做刻蝕機。我們現在有不少人是從這(zhè)三個公司國上出來的。

剛才講的這(zhè)個市場是半導體前端設備，不算後(業日hòu)端封裝，就(jiù)芯片加工設備的前端，基本上三個階兒身段。

80年代起(qǐ)步，漲得比較舞做快，到2000年的時(shí)候已經(飛中jīng)進(jìn)入300億水平業文了。但是後(hòu)來十來年呢沒(méi)有太長(cháng)足的發(fā去湖)展，有點上下波動。

到了2015到2016年以後(hòu)，又作門在迅速的增長(cháng)。

最近幾年一直看好(hǎo)，今年可以做到450億，到了2025年預計會(huì)到720億。原因是做芯片的步驟越來越複雜，而且設光間備越來越貴，終端應用也是日新月異。

你看那起(qǐ)起(qǐ)伏伏線家的，其實每一次的高潮都(dōu)是分行一個單一産品，比如2007年高潮是手機，2000年這(車在zhè)個internet，過(guò)去還(hái)有PC出來，還(hái農他)有電子表出來，每一個産品就(jiù少湖)形成(chéng)一個高潮。

但是到現在爲止，因爲芯片已經(jīng)進(jìn)到老百姓的生活的物年所有層面(miàn)，包括工業界所有層面(miàn)，所以它更多和經(j筆鄉īng)濟發(fā)展就(jiù)同步了，不是說(shuō)一個單一産品出來，得森一窩蜂，所以增長(cháng)幅度醫數就(jiù)降低了。

最近的應用越來越多，所以它發(fā)展速度還(h月務ái)是最快。從技術的進(jìn)步來講，把最先進(jìn)笑紙公司的技術拿來做個比較，大概得出結論是這(zhè)樣(yàn事制g)，一年半左右就(jiù)往前走一代。

14納米進(jìn)入大生産的時(少呢shí)間，平均在2014年底2015年初。10納米就(jiù秒高)是在2016年中。7納米是去年進(jìn)入生産，2017年底時算。5納米今年夏天進(jìn)入試生産，明年會(討對huì)大生産。

國(guó)際上的進(jìn)步大概一年半一高木代，而中國(guó)呢，目前40納米比較成(chéng)熟，28納米還下哥(hái)不能(néng)算完全成(chéng)熟。所以我們和國(guó)際上差三代，現在有更加落後(hòu)的可能志行(néng)，因爲國(guó)際上進(jìn)展太快。

網上傳的說(shuō)當國(guó)際大腕還(hái)在開(kā東習i)發(fā)10納米和7納米器件時(shí)，中微已宣布率先搞兵樹定5納米技術。寫這(zhè)個文章子喝的人把芯片器件和設備混淆起(qǐ)來，爲吸引眼球，誇大宣傳，這(zhè)種身拿(zhǒng)文風一定要糾正的。

我們的設備性能(néng)是很好(hǎo)，可以加工5納米呢遠器件，而且我們有雙台機的設計，國(guó)外都(dōu)是一次加和房工一片，我們有一個很巧妙的設計近輛，一次可以加工兩(liǎng)片，輸出船分量大，成(chéng)本低。

但是隻靠刻蝕機是做不出器件的。其實我們不少亮做器件，我們隻做設備，然後(hòu)像台積電、劇志中芯國(guó)際買我們的設備去制造芯片腦草，要十種(zhǒng)不同的設備混合作戰，當然刻蝕機是除光刻機裡做以外最關鍵的設備。

台積電把我們作爲五大等離子體刻蝕設備廠商之一，就(jiù)是應用材料、Lam、線聽東京電子、我們還(hái)有一個日子窗立的分公司。我們勢頭非常好(hǎo)，但是微和我們的市場占有率還(hái)是很有限的。還(hái)要不斷提高5納米刻蝕應用的市場占有率。我們的前景會(huì)很好(hǎo)。

我這(zhè)解釋一下，幾個領先的邏輯芯片生産廠家聲稱的10納米或7納米器件，下學大家計算方法不一樣(yàng)，原來一個門，基議火本的三極管這(zhè)樣(yàng)放，給它到土一直擠，大概到11納米就(jiù)黑女不能(néng)擠了。

這(zhè)樣(yàng)擠不下去了怎麼(樹鐵me)辦，立起(qǐ)來做，這快房(zhè)個叫(jiào)FinFET，這(zhè)個火術新概念，是在膠州大學(xué)伯克利分校的教授胡正明提出來的。但實際上門歌市的長(cháng)度還(hái)是這(zhè)麼(m也坐e)大，并沒(méi)小，隻是把它方向(xiàng)變計廠了，再往下走怎麼(me)辦？把它卷成(chéng)一個卷，這(懂市zhè)個圈實際上又小了一點，所以做到14納米以下，已經(jī房志ng)不是像過(guò)去意義上門電多不路多寬了。

這(zhè)是他們最領先的技術，所音東以他們這(zhè)樣(yàng)說(shuō)，現在所兒黃謂5納米、3納米是一個虛拟的數字。沒(méi)有一個真正的門是5納樂作米的。但是我們刻的東西确實有，最小的孔的底部，差不多你要說(shuō)10納米匠錯、7納米底部就(jiù)這(zhè)麼她開(me)大，還(hái)有這(zhè)個側牆，已身爸經(jīng)做得很薄了，真正做到甚至三納米都(dōu)有。

現在有人說(shuō)摩爾定律會(huì)失效，這(zh鐵少è)個我澄清一下，我是中國(guó)大概唯一一個有幸在80訊遠年代在英特爾工作時(shí)和摩爾和他太太吃過(guò)晚飯中快的人，我們聊了兩(liǎng)個小時(shí)。

我是中國(guó)留學(xué)生，最早進地購(jìn)入英特爾的，應該說(shuō)第二個吧，有一次中國(guó)代物了表團來了以後(hòu)，摩爾出來見，就(爸他jiù)說(shuō)我們公司有沒(méi)有大陸來的留光森學(xué)生啊，就(jiù)把我找去了。

摩爾定律其實不是一個嚴格的定律，摩爾定律，隻是一種(z機跳hǒng)設想。而且開(kāi)始講的不是18個月，原來他說(shuō)是兩(著制liǎng)年，後(hòu)來又有人說(shuō)是匠業一年，他還(hái)更正了一次，來回來去愛去。

後(hòu)來人們傳的就(jiù)是，摩爾講的是十八個月會山，有兩(liǎng)件事(shì)發(f見也ā)生：第一個是堆積的擠壓程度增加了一倍，它的運算速度提高一倍。後(hòu)來他還(hái)出了澄得著清說(shuō)memory和logic不一樣(yàng)。所以我不認爲摩爾定花人律是一個定律，它隻是一種(zhǒng)說(shu站農ō)法，而且這(zhè)個說(shuō)法後(hòu)來和實際的發(fā)要弟展速度很接近。說(shuō)摩爾定律實際是一種(zhǒng)商業炒作。人們但弟總是希望拿一個東西來炒作，納米技術也一樣(yàn城報g)，原子分子組成(chéng)我們的現實世界，爲什麼(m長冷e)要叫(jiào)納米技術和微米技術？

中國(guó)現在要産業升級，從制造大國(guó)到務東制造強國(guó)，你仔細想一想，我們要做的事(shì)太多了，跳答但是其實核心的東西并不多。怎麼(me)樣(y員文àng)才能(néng)成(chéng)爲一個黑離制造強國(guó)？

我的想法，就(jiù)是在不多的關鍵裝備和關鍵裝置上的突破。大國(guó)重器首先一個就(jiù)是高端半導體設備。

現在投一條線大概是少則50億美金，多則70億美劇章金，80%的錢都(dōu)是買設備，而且現在95%以上的設計為備都(dōu)是國(guó)外的。所以如果音讀你沒(méi)有這(zhè)個高端設備的基礎，也就(jiù)兒中說(shuō)80%的技術其實不在我們手裡(火離lǐ)，都(dōu)在人家手裡謝什(lǐ)，你隻要一台機器進(jìn)不來就可紅(jiù)完蛋了。

還(hái)有一個就(jiù)是宏觀加工的五軸聯動加工中心，你看中國(guó)有成(chéng)千厭費上萬的加工廠，但是買的不是德國(guó)就(jiù)是日本的設備。高精尖的妹要宏觀加工的母機，就(jiù)是五軸聯動加工，現你機在美國(guó)都(dōu)做不好(hǎ靜吃o)，沒(méi)有做出來，這(zhè)并不是那麼(me)容易做。但是中國(g暗著uó)一定要下決心把它做出來。

前面(miàn)說(shuō)到光刻機友子，光刻機裡(lǐ)面(miàn)年的那個鏡頭怎麼(me)做？鏡頭做如家不出，反光碗做不出，激光源做不出就(jiù)還路相(hái)是不會(huì)做。然後(照報hòu)大飛機裡(lǐ)面(miàn)就(jiù)是但北發(fā)動機，做了大飛機殼子，裡(lǐ)面(mi慢拍àn)核心的發(fā)動機是買的，甚至汽車都(d來火ōu)是這(zhè)樣(yàng)，就(ji時書ù)是城市裡(lǐ)跑的車裡(l知靜ǐ)的引擎和換檔器恐怕百分之八些說九十都(dōu)是買的。

我們現在問題在哪呢？在國(guó)内發(fā)展經(jīng)濟有兩(liǎng短家)個誤導，一個是隻要你規模大就(jiù)是好(hǎo)公司，聽一還(hái)有一個隻要你賺錢就(jiù)好(hǎo現笑)，這(zhè)個觀念一定要改，其實規模大、賺錢的公司，就(jiù)讓民間做一劇文下，馬雲沒(méi)有什麼(me)政府中子支持，直接過(guò)幾千億了。阿裡(lǐ)巴巴不會(hu門刀ì)做芯片，也不懂怎麼(me)做設備，但爲什麼(me)這(zhè)麼民水(me)大？因爲他有創新的商業模式和有力的市場機制，可以發(fā)又慢展起(qǐ)來，不需要政府推動。

而政府就(jiù)要推動這(zhè)些最基礎的制睡大國(guó)重器。有了這(zhè)個，其他的數地校碼産業什麼(me)都(dōu)有了，沒(méi)這(zhè)市靜個的話，就(jiù)沒(méi)有數碼産是業業，就(jiù)沒(méi)有現代經(jīng)紙雪濟的發(fā)展。

其實大國(guó)重器能(néng新子)列出來的也就(jiù)十多個，你把這(zhè)十多個做好(hǎ服得o)，中國(guó)就(jiù)是制造強國(guó)。

但是大國(guó)重器有三個特點：第一個開(kāi)發(fā)成(chéng)本特别高，少則幾億，十幾億，多則幾十億，近友上百億。第二是開(kāi)發(fā)周期長(cháng)，短則5年10年，多則幾十年，甚至上百年。第三是每一個産品都(dōu)被(bèi著信)國(guó)際兩(liǎng)三家公司壟斷，有的甚至一家半。進(jìn務舞)入門檻特别高。

目前我們做的設備有相當關鍵的零刀們部件還(hái)是從外國(guó)買的，而且往往是一個零部件，全世界隻家錢有兩(liǎng)家，有的甚至隻有一懂劇家能(néng)做。這(zhè)些務麗店都(dōu)是百年老店，他盯著放訊(zhe)一個東西做。

去年我們和美國(guó)大公司打了半年多的官司，爲數好了什麼(me)？是爲了一個大的碳化訊報矽的一個盤子，這(zhè)個盤子是石墨底，議討上面(miàn)扣那個碳化矽這(zhè)麼(me)大的盤，很重的。它在商現我們的反應器裡(lǐ)每分鍾要轉1000轉。溫度提到1100度，很高的溫度，正吧嗎負1度的溫度，非常苛刻的情況下，轉得非常快，上面(miàn)放了很多矽片城的就(jiù)開(kāi)始沉積，單晶就(jiù)長(cháng)刀生。

能(néng)做這(zhè)個石墨底物的公司謝家，全世界兩(liǎng)個。一個就(j自坐iù)是我們這(zhè)個德國(guó)公時女司，在德國(guó)做了石墨盤，拿到美國(guó)去做碳化矽，還(hái)有子樂就(jiù)是日本的東洋碳素，就(jiù)這(zhè)麼(me)兩媽男(liǎng)個公司能(néng)做白鐘出高質量的石墨。石墨看來誰都(dōu)會(huì)做。但你做出商明這(zhè)種(zhǒng)半導體可以用的石墨，就(jiù)這(zhè)志答麼(me)兩(liǎng)家，不是80年就(jiù)是100年老店。

那在這(zhè)樣(yàng)的特點下，我們能(néng)和他麗少們競争嗎？毛主席的矛盾論，講要抓主要矛盾。如果我們要想把這(小友zhè)仗打赢，就(jiù)要知道(dào雨劇)主要矛盾在什麼(me)地方。亮日這(zhè)是我講了十年的，大聲疾呼的。我們的主要矛盾叫(jiào)不對(duì)稱競争。

在上個世紀80年代，全世界有30個設備公司懂吃，每個公司十幾個人到幾百個人，很小，拼了30年以女校後(hòu)就(jiù)剩三四家。現在已經(jīn舞暗g)不是那個時(shí)候，三個占壟斷地位的設備個到公司已經(jīng)大到年銷售百億美元的公司了。

我們是後(hòu)起(qǐ)之秀，現在國(報體guó)内像我們中微算先進(jìn)的公司，和國(g也關uó)外同類公司差20倍，我的研發(fā)也生票跟他差20倍。在這(zhè)種(zhǒng)情況下怎麼(me)去趕上去，這河文(zhè)是一個課題。首先是公司的規模不對(duì)稱，然後(hòu)市場占有不對(du那影ì)稱，國(guó)内外市場不對(duì)稱，還(hái船海)有就(jiù)是準入門檻不對長森(duì)稱。你用了美國(guó)的設備20年，突然中國(guó)來了化一個新公司說(shuō)，你用我的新設備，一般來說(如理shuō)是不願意試用的。

還(hái)有人才資源不對(duì)稱，頂尖的專家都(dōu)在美國(guó)，還(há請坐i)有日本和其他地方。

還(hái)有就(jiù)是研發(fā)經(j亮熱īng)費的不對(duì)稱，這(zhè)是最重要的一個不對(件老duì)稱，每年我們公司閉著(zhe)眼睛狠命砸錢，一年是3億人民币，投資已經(jīng)校有投了十年了。那全是虧錢，但是你要不投入就(jiù)不行。但是頻答我們的3億隻是我們對(duì)手的1能器/20。

然後(hòu)專利占有的不對(duì)稱，他已經(jīng)地雷陣都(dōu)布好(hǎo)，你走哪都懂朋(dōu)踩地雷。還(hái)有國(guó)家文化的不對(duì)廠輛稱，你說(shuō)你要招外國(懂兵guó)的一流的人，他跑到中國(guó)來不習慣，不願意來。還(hái)低到有呢，我的機器拿到一些國(guó)家去，思想上就(jiù)會(huì)有一種森還(zhǒng)阻礙，他對(duì)美國(guó)個不人最信，對(duì)美國(guó)人服氣，對(duì)友樹日本人都(dōu)不是很服氣。那爲什麼(me)要用你藍裡的中國(guó)的哪？

創業發(fā)展環境不對(duì)稱，這(zhè廠土)是一系列的政策問題了。我舉個簡單例子，我到英特爾工作三個月拿到綠卡雨了，我回國(guó)了14年還(hái)沒(méi)拿到，連我都(dōu人費)沒(méi)拿到，還(hái)是門見可外漢，這(zhè)就(jiù)是一個産業環境的問題。

所以這(zhè)麼(me)多的問題就(jiù)是一個不對(duì)稱，在了費不對(duì)稱競争下的策略，和在對(duì)稱競争下的策略船月完全不一樣(yàng)，對(duì)稱競争是煙務靠你公司單打獨鬥，自立自強，可是不對(duì)稱，在這(zhè)慢術樣(yàng)的情況下，光靠商業運作，光靠一個公司的單打獨鬥是絕對(duì)不行的。

像我們公司一年投3億，你剛開(kāi)始啓動的時(shí)候，一分錢賺不來的輛也時(shí)候，你三億從哪來？你要一年行要低書兩(liǎng)年行，你要五年十年人給你3億，我現在已經(快工jīng)融錢快50億了，就(jiù)像求爺技公爺告奶奶，那真是很艱苦，所以怎麼(me)辦？雜媽隻有這(zhè)個辦法可以解決，就(jiù)是國(guó)家的戰略推動和宏觀推動，和企業的自畫行立自強要結合。

隻有這(zhè)個機制能(néng)夠走下去。但這(zhè)要門門避免兩(liǎng)個趨勢，一個是國(guó)家的介入和推動把企業搞成(chéng)國(g南站uó)企，缺乏靈活機動性，但要全靠各個公司單打獨鬥，你也根本就(ji子唱ù)不是人家的對(duì)手。所以這(zhè)裡(lǐ)最件道巧妙的是找到一種(zhǒng)折中的方案，既要有國(guó)家的大力支持見到，又要使得公司有相當靈活機動。

毛澤東朱德在井岡山隻有1000多人，土槍土紙問炮沒(méi)飯吃，22年統一全中國(guó)。那絕對(duì)是最不明唱對(duì)稱的競争，國(guó)民高下黨武裝到牙齒，日本也是，怎麼(me)打赢了呢，所以我一直用這金在(zhè)個比，我說(shuō)我們比那時(shí)候好(hǎo)多了學煙，就(jiù)是能(néng)赢的，但是要森制有這(zhè)個，就(jiù)是國(guó)家的推動重點支持和企業的競争力發商外(fā)展要緊密結合起(qǐ)來。

這(zhè)裡(lǐ)就(jiù)牽涉聽河到所有制的問題，政策問題，環境産業人才開笑吸引的問題，我就(jiù)提出這(zhè)樣(yàng)的概念，村化一個産業就(jiù)像一個鼎，中國(guó)半導體産業的跨越發(fā)展這但她(zhè)個鼎，需要三個腿來支撐，就(jiù)是要花自有資金、人才和政策三個腿。

這(zhè)三個腿有兩(liǎng)個條件，第一，三個腿都(dōu)非常強，強有力。第二個很重要的，這(zhè)三個開章腿必須平衡，不能(néng)一個腿很強，另外一個腿很弱校公。

資金裡(lǐ)面(miàn)就(jiù)是三種(z那飛hǒng)，股本金，還(hái)有低息貸款和研發她日(fā)資助，一定要到位。

人才上，國(guó)際人才、國(guó)内人才和領軍人才一定要到位師看。

政策上呢，就(jiù)是所有制的問題要解兵學決，投融資政策，進(jìn)出窗黑口政策、所得稅政策、勞動法政策、本土化政策、上市答微政策都(dōu)需要升級。

而我們回國(guó)研究十幾年，這(zhè)一系列的政策都(dōu)停留技子在一個引進(jìn)技術來料加工的階段，這(zhè在會)對(duì)于一個國(guó)際大公司在中國(g黃飛uó)運營是最能(néng)推動的，但是對(duì)于自主創新遠草，創業發(fā)展，有很多的要改，要升級。如果不升級的話，中國(g習會uó)的這(zhè)個大國(guó)重器搞起(qǐ)不來。

說(shuō)到所有制的問題，在我國(guó)認爲有錢就日民(jiù)可以買公司股票當股東，如果員工想得到公司股票，對(duì)不起(冷中qǐ)，拿同樣(yàng)價錢買，哥計上市不能(néng)超過(guò)200人有公司股票。而門房且公司激勵員工發(fā)的期權是不能(néng)上市的，員工一定術要要拿錢買成(chéng)實股才能(néng)秒裡上市。

概念的本質就(jiù)是承認隻有資本是可以創造公司價值的，但這(zhè哥草)是違反馬列主義的基本原理的。因爲《資本畫離論》講的是這(zhè)個世界的林場财富、價值是勞動創造的，包括資本也是問鄉勞動創造的。

作爲公司來講，公司價值兩(liǎng)部分，一部分資本投入叫(jiào)有錢新草出錢，還(hái)有一部分就(jiù)是創新，人的勞動創造出來的價值叫(jiào)有力出兒了力。

所以正确地用馬克思主義的理論來講，公司價值兩(liǎng)部分，一部分是錢産生的價值，一部分是勞動創造的價值，應該是錢創造的價值給你股票，而勞動創造的價值給你期權。除了做內給你工資，剩餘勞動創造價值的一部分變成(chéng)一個風朋期權，回饋給員工。

所以在美國(guó)矽谷最先進(jìn)的制度，是全員持股制，投地雜資的人有股票，而出力的人有期權，期權經(jīng)過(gu新服ò)幾年的變化就(jiù)自動變成(chéng林呢)股權，你可以拿出去賣跟股權一樣(y街錢àng)。

而我國(guó)中認爲隻有有錢的人才可以拿股票當股東，對(那近duì)員工和管理層來說(shuō)些地，你要想拿到股票，對(duì)不起(她化qǐ)和股東一樣(yàng)要拿錢買，而麗務認爲即使期權也隻是一種(zhǒng)增加員工收入的激勵而已。這(慢吧zhè)概念是錯的，這(zhè在區)個實際上是隻承認資本價值的資本主義。

而美國(guó)的矽谷早已經(jīng)實行了期權激勵的全員持股的集體子微所有制了。我在一開(kāi)始的時(shí)候剛剛拿北樂到博士，參加英特爾時(shí)還(hái)是中級工程師，就(jiù)來鐘給我每年幾百股期權，不需要拿錢買，四年以後(hòu)就(jiù)視票變成(chéng)你的了，然後(hòu)你拿到股票市場就(跳校jiù)可以賣了。

然後(hòu)我到Lam Rese市司arch已經(jīng)是一個産品開(kāi)從跳發(fā)的資深經(jīng)理了，每年給我2000股期權，然後(hòu)筆街到應用材料公司做到VP時(shí)候每年是2萬股。

這(zhè)三個公司從第一天就(jiù)是全員男玩持股的，别的公司後(hòu)來爲什麼(me)倒美森掉了呢？因爲從第一天開(kāi)始就(jiù)是老闆說(shuō)水開了算，老闆占很大股份，沒(méi)有員工期權算紙激勵。爲什麼(me)現在這(zhè)三個公司變成(chéng)理人這(zhè)個領域世界最大的公司，因爲所有制音冷比較先進(jìn)。

我之前給大家開(kāi)過(guò)玩笑，說(shuō)我曾經(jī暗車ng)犯了一個很大的錯誤，應用材料公司把我從Lam拉去吃得，給了我6000股，我沒(méi)把它當回事(shì)，漲了兩國月(liǎng)三倍就(jiù)賣掉了。後(hòu)秒業來1股分成(chéng)64股，每股235美歌農金，6000股就(jiù)相當于8000鐵數萬美金。所以說(shuō)大家有這(zhè)個夢想，才到一個小公些場司去，做大了然後(hòu)上市。

現在我們就(jiù)是全員持股制，而且我們件的比全員持股比矽谷做得還(hái)徹底。我們工著機資和股票的曲線，紅的是工資，每一級差10%，藍的是期權，每一級差2窗舊0%，帶有非常平均的社會(huì)主義討快色彩，連開(kāi)車和看門的都(dōu)有股票，我隻有公司不到百分之一門熱的股票。期權是很低的。

十幾年前，我們的管理曾和員工占公司股份33%，女店現在占20%，早期參加的員工承擔了很大的風險，給的股也多，股就村價也低。

你看我們加工出來的存儲元件形狀，有著(自為zhe)很複雜的微觀結構，這(zhè)是術銀邏輯線路的形狀，這(zhè)是存儲元件的形狀。

我們現在一共是五大産品，總的來講情況還(hái)比山人較好(hǎo)。這(zhè)個前好土面(miàn)三個産品比較成(chéng)熟，第一個就(ji近對ù)是CCP電容性等離子體介質刻蝕機，這(zhè)也是最難做的。這(zhè)種自訊(zhǒng)刻蝕機全世界的市場是200億人民币，相當于30億美金。視讀這(zhè)個市場比較大，我們已經(jīng)成(chéng)爲錯吃國(guó)際三強。

第二個設備是傳感器的刻蝕機，不僅僅在大家的手暗物機上，而且在照相機、耳機、指紋識别器都(dōu算月)有應用，包括無人駕駛汽車。這(zhè)個市場林畫并不大，全世界的市場每年大約是30億人民币高呢。這(zhè)方面(miàn)我們已經(jīng)分計做成(chéng)了國(guó)際最強設備。國(guó)際上最強的大校兩(liǎng)家做傳感器的，一個是德國(guó)的博世，還(hái)購一有一個是意法半導體，他們都(dōu)用我們的設備機看。

然後(hòu)MOCVD，這(zhè)個市場也不大，隻有30內要億人民币的市場，這(zhè)個已經(jīng)成(chéng)爲國(數睡guó)際上的前兩(liǎng)強。還(hái土妹)有兩(liǎng)個産品，這(zhè)個ICP電感性等離子體刻蝕機技草相術是我1987年在Lam首先開(雨白kāi)發(fā)的，現在已經(jīng)有三百億紅答人民币的總市場，我們這(zhè)個産品已經(jī志拿ng)進(jìn)入市場，希望我們能(néng)在最近三五年事月有很大的收獲。

我們還(hái)有一個副産品是做空氣淨化器的，因爲在一般的工業上存在嚴重的空那友氣污染的問題。

另外我們公司還(hái)有一個特點是，是中國(guó)唯一的一從他家公司，11年來一直和美國(guó)三大公司打官司沒(méi器火)斷過(guò)，而且每次打得很兇險。

網上對(duì)我們有誤解，對(duì哥什)我們的報道(dào)有一段是錯的，說(shuō)我們從美國(guó)回來之拍小前，美國(guó)國(guó)安局搜查我們的文件，沒(méi)收了600白很萬件等等都(dōu)是誤傳。其實我們回來他們沒(méi)對雨有采取任何行動。

到2004年回國(guó)的時(shí)候，我熱年們非常的小心，每個人都(dōu)要簽字畫押，冷商不能(néng)帶回任何文件，銀長數據和設計圖紙。

在我們回國(guó)之前就(jiù)出了一件大事多務(shì)，一個大陸留學(xué)都刀生和一個台灣留學(xué)生在矽谷做PC機的生産的，想回國(g樂就uó)做一個PC機公司，就(jiù)從原公司拿了一什文些圖紙，還(hái)有一些零部件，從舊金山要坐飛機回國(guó)了。

 實PC在我們的眼裡(lǐ)是買芯片弄個殼子裝請樂起(qǐ)來就(jiù)行，現在高中生就(j黑生iù)可以裝PC的。結果他們公司發(fā)現他員又拿了東西，就(jiù)報告了國(guó)安局，國聽飛(guó)安局就(jiù)在門口等他，出境年爸時(shí)被(bèi)抓到了紙技。

據說(shuō)要判很多年徒刑。所姐白以我想我們這(zhè)麼(me)十線月幾個都(dōu)是最頂尖的專家雜在回來，搞的不是PC而是高端設備，風險很大。所以我們就(jiù)特别小心，所有相機的人所有的電腦、U盤全都(dōu)不讓帶，我們做的很遠南嚴格，很守法，每人都(dōu)簽字畫押，宣誓不帶什麼(me)東西。

我們對(duì)競争者的3000多個專利做了深入的分析，确保我們的設計不會爸雨(huì)侵犯任何人的專利。

對(duì)我們自己獨特的的設計，也申請了1000多個專利。我們還話紙(hái)對(duì)競争對(duì)手可能錢廠(néng)在哪些方面(miàn)向(xià了頻ng)我們發(fā)難也做了充分的準備。然而到了3年以後(hò輛樂u)我們做出很了很好(hǎo)的設備，開(kāi)始要打入國(gu得也ó)際最先進(jìn)的生産線了。

這(zhè)時(shí)候美國(guó)的老東家就(ji他什ù)開(kāi)始坐不住了，所以就(ji黃跳ù)跑到美國(guó)聯邦法院就(jiù)告煙刀我個人和公司。理由就(jiù)是說(shuō)你們30多人從應用多紅材料公司來的，這(zhè)麼(me)短時(shí)間做出一個好(hǎ嗎雨o)的設備，一定是用了原公司的商唱森業機密技術。

這(zhè)基本就(jiù)是一個邏輯的訴訟，不需快計要證據的。在美國(guó)沒(méi)有證據也可以告，但是我們就為歌(jiù)要證明我們是清白。怎麼(me)證明呢？我要靜熱請美國(guó)一流的律師來查我所有的文件。是我可草們雇了律師查我們自己600多萬件文件和30多人的PC機和辦車鄉公室，不是美國(guó)政府查我的，這(zhè)了可個現在要澄清這(zhè)個事(shì)。

我們請了MOFO是美國(guó)最好(hǎo)的專利律師，農區我們請了美國(guó)十大專利律師之一。我們一定要請一流的，因爲我不敢請二山湖流，萬一打輸了怎麼(me)辦？

我們把我們公司這(zhè)三年來所有的那個電腦系統的軟件全風但來徹查，有沒(méi)有發(fā)現原公司的技術圖紙。32秒靜人的辦公室，所有的文件都(dōu)查，每個人的厭喝PC都(dōu)要查。這(zhè)是一個誠信系統，美國(guó弟科)原公司也是這(zhè)樣(yàn區問g)，全公司都(dōu)要查有沒(méi)有中微的東西，是對(電公duì)等的查。

結果查了兩(liǎng)年半。光是我們付律師費，看我們自己的文件，微工就(jiù)花了2500萬美金。由于我們沒(méi)有任何雪秒有關對(duì)方的圖紙，工藝配方和數據，所以後(這房hòu)來就(jiù)和他們和解了，官司不白花打了，還(hái)說(shuō)以後(hòu筆一)要合作了。

如果查實一個人拿了什麼(me)關鍵的技術圖紙，那肯定是要治罪的和動，作爲法人代表，我也是有罪責的。這(zhè)次的較量再一次的說(shuō筆就)明了“打鐵還(hái)得自身硬”。必須重視知識産權，商業機密，要遵守我國(guó)的法律，木兵也要遵守美國(guó)的法律，就(jiù)能(néng你水)處于不敗之地。